金融债券 扬杰科技获得发明专利授权：“一种不损伤栅氧的多晶硅剥离方法”
本站消息，根据天眼查APP数据显示扬杰科技（300373）新获得一项发明专利授权金融债券，专利名为“一种不损伤栅氧的多晶硅剥离方法”，专利申请号为CN202111129720.4，授权日为2025年7月1日。
专利摘要：一种不损伤栅氧的多晶硅剥离方法。涉及一种半导体制造技术领域，尤其涉及一种不损伤栅氧的多晶硅剥离方法。本发明使用29%氨水进行Poly（多晶硅）去除，取代原有硅腐蚀液（HNO3+HF+HAc+H2O）进行Poly层去除，氨水去除Poly层的同时不腐蚀SiO2，返工风险极低，有很好的去除Poly层，保留SiO2的效果。本发明具有不腐蚀SiO2，降低返工风险，提高多晶硅层去除质量等特点。
今年以来扬杰科技新获得专利授权61个，较去年同期增加了32.61%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.23亿元，同比增19%。
通过天眼查大数据分析，扬州扬杰电子科技股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目183次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息743条，著作权信息4条；此外企业还拥有行政许可234个。
数据来源：天眼查APP
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